LAYERSCAN

Misuratore combinato per film barriera multistrato

Il misuratore di spessore LAYERSCAN è un sistema di misurazione senza contatto che combina il segnale ottico di un sensore CCD ad alta risoluzione con il segnale di un sensore induttivo a corrente parassita e di un sensore capacitivo. LAYERSCAN ha la capacità di discriminare e misurare contemporaneamente sia lo spessore totale del film che quello dello strato barriera in una struttura multistrato.

Processi: